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石墨烯生长炉CVD系统

石墨烯生长炉CVD系统

型号:KJ-1200-S6014LK1-H

简要描述:

KJ-1200-S6014LK1-H这款设备是专为生长石墨烯研制的石墨烯薄膜生长专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。

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详细介绍

产品介绍:
KJ-1200-S6014LK1-H这款设备是专为生长石墨烯研制的石墨烯薄膜生长专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验,温区可独立程序控制,设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。

主要参数:

产品名称

石墨烯生长炉CVD系统

     型号

KJ-1200-S6014LK1-H

滑轨管式炉

炉体结构

滑轨式

 

最高工作温度

1200℃ 

 

持续工作温度

≤1100℃

 

加热速率

最高20℃/min (建议10℃/min)

 

加热区长度

300mm 单温区

 

加热元件

含钼电阻丝

 

热电偶

K 型

 

控温精度

±1℃

 

炉管直径

Φ50Φ60Φ80都可用

 

炉管材质

石英炉管

 

温度控制器

PID智能程序控温

 

真空法兰

真空法兰采用304不锈钢制作

左端法兰上安装不锈钢针阀和一个球阀。右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍

注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰

 

 

输入电源

 

单相 220V, 50 Hz  功率:3KW

真空泵系统

旋片真空泵带数字真空计

(包含KF25接口和可移动箱体)

 

 

 极限真空度 10-3 Torr.

炉管内真空度 10-2 Torr.

抽速: 4CFM  (2L/S, 120L/min)

备注:用户可根据真空度要求不同可选用旋片真泵、扩散泵组,分子泵组

质量流量计

 

 

3路高精度质量流量计:

量程:MF1-MF3量程范围50-1000sccm可调

底部安装有一个混气罐,左侧安装有3个不锈钢针阀,可手动控制3种气体的流量。

 

注意事项

. 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度<1100℃

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

认证

ISO认证、CE认证

售后服务

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)


 

 


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