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滑动式双温区PECVD系统

滑动式双温区PECVD系统

型号:KJ-T1200-S10LC2-HY

简要描述:

PECVD系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应。

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详细介绍
设备基本原理:
PECVD系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,环境温度在100-300℃,但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解、离解和离化,从而大大提高了反应物的活性,这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上,发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜,因此这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法
设备基本结构:
KJ-T1200-S10LC2-HY滑动式双温区PECVD系统,由KJ-T1200双温区滑轨管式炉、高真空系统、质子流量计气路系统、等离子电源系统组成。可适用于石墨烯生长等。
产品优点:
1、与传统的CVD相比,只需较低的制备温度
2、滑轨式可快速加热和快速冷却   
3、两个加热区,温度梯度最大可达 200ºC ,最高工作温度1100°C   
4、提供一个宽范围的材料制备 ,如碳和 ZnO 纳米管或纳米线以及单层石墨烯。
技术参数:

产品名称

滑动式双温区PECVD系统(CE认证)

滑轨管式炉部分

产品型号

KJ-T1200-S10LC2-HY

炉管尺寸

Φ100mmX1600mm

炉管材质

石英管

加热区

双温区,每个温区长度200mm

工作温度

1100℃

最高温度

1200℃

温控方式

K型热电偶

控制方式

触屏控制

控温精度

±1℃

温控保护

具有超温和断偶保护功能

升温速率

0-20ºC/min  ,建议10ºC/min

加热元件

含钼电阻丝

工作电压

AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)

加热功率

3KW

炉膛材料

氧化铝多晶纤维

炉体结构

炉体带滑轨,可实现快速升温和降温

法兰接头

标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀

密封系统

该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。

                     真空系统部分

名称

真空系统

主要参数

1.采用高真空分子泵组,炉管内真空度可达10-3pa

2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;

3.防腐型进口英富康数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换。

气路系统部分

名称

路质流量计

主要参数

通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示,自动控制。可实现进气智能控制,设置分段进气,用户可根据自己的使用需求组合设置进气工艺。

流量范围流量范围:

1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可调

2.一个混气罐

3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体;

4.进出气口:3进1出

流量控制:手动旋转式调节

连接方式:双卡套连接

等离子电源部分

名称

500W等离子电源

功率范围

0-500W(连续可调)

工作频率

13.56MHZ+0.005%

工作模式

连续输出

射频输出阻抗接口

N-type,female(50Ω)

功率稳定度

≤2W

最大反射功率

70W

电源保护设置

DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护

供电电压/频率

单相交流(187V-253V)50-60HZ

冷却方式

风冷

整机尺寸

88X483X550 MM

整机重量

13.5KG

认证

ISO认证、CE认证

售后服务

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)

 


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