新闻中心

rtp快速退火炉如何操作？

时间：2025-10-15 点击次数：0

rtp快速退火炉作为常用的快速升降温热处理电炉，深受半导体行业、高校实验室、工矿企业实验室的喜爱，那么在使用rtp快速退火炉之前，应该注意哪些方面呢？下面就来详细看看吧！

一、操作前准备
设备检查：
确认冷却系统（如水冷机）水位正常且能循环，避免高温损坏设备。
检查真空维持系统油位，确保真空度达标（如≤10⁻³ Pa）。
验证气路压强（氮气、氢气等）是否符合要求，避免气压异常导致实验失败或危险。

样品准备：
样品需放置在样品架中央，确保热电偶丝正确嵌入孔洞，避免温度感应偏差。
避免超载或超速装载，防止设备负担过重导致损坏。

首次使用或长期停用后的处理：
需在120℃烘烤1小时、300℃烘烤2小时，防止炉膛开裂。

二、设备开机
打开气路开关：
打开压缩空气与工艺气体的气路开关。

设备启动：
刷卡上机。
按下绿色按钮进行设备开机，开机后等待程序启动、仪器自检。

三、放样
拉出托盘架：
仪器自检结束后，屏幕显示主界面，此时轻掰开门闩把手，将托盘架拉出。

放入样品：
放入样品，确认托盘下方热电偶丝正确地置于孔洞中。
缓缓推回托盘架，合上门闩把手。这步很重要，若是热电偶丝错位将导致感应到的实时温度不准确。

四、软件操作与程序编辑
打开软件：
打开数据显示操作平台，输入测试样品信息，查看通讯是否正常。

程序编辑：
点击程序编号栏以打开程序下拉选择列表。
通过软件设置升温、保温、降温程序，确保温度曲线符合材料需求（如氮气退火在400℃恒温5分钟）。
按照设定速率升温至目标温度。例如，开启N2进气和真空泵，提供流动的氮气气氛。
在设定温度和气氛下维持目标时间。例如，在流动氮气气氛下维持400℃恒温300s。
抽真空至目标压强。例如，vacuum值设定0.01hPa，即抽真空至1Pa后结束该步骤。
充气至目标压强。例如，开启N2并设定速率，对腔室充氮气；vacuum值设定为1013hPa，即充气至一个大气压后结束该步骤。

五、工艺开始
程序检查：
程序编辑完成，检查一遍确认无误后，点击保存程序，再点击回到主界面。

开始运行工艺：
点击开始运行工艺。
工艺过程中可在屏幕上实时观察各个功能模块的运行状态及温度、压强、工艺时间等信息。

六、取样与关机
取样：
测试结束后等待炉温温度降低到100℃以下，关掉仪器冷却装置以及真空维持系统。
确认门左侧金属锁芯已经弹回（若未弹回可能是锁芯卡住，将门闩把手稍往里压使锁芯弹回）。
开门之后缓慢拉出托盘架进行取样。
取样完成后推回托盘架，等待仪器再次自检。

关机：
自检结束后按红色按钮进行关机。
刷卡下机。
关闭气路阀门。
关闭总电源。

定制款rtp快速退火炉(点击图片查看产品详情)

总结：
在使用rtp快速退火炉的时候要严格按照使用手册使用，如果遇到无法解决的问题，可以查看炉子背面的铭牌，查找联系方式，联系原厂技术人员请教操作步骤，请勿自行胡乱操作，防止发生危险或者损坏设备。点击了解更多rtp快速退火炉！或者点击咨询在线客服定制各种不同型号电炉！

上一篇:定制PECVD电炉的时候要注意什么？

下一篇:返回列表