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石墨烯生长炉管内的石英管清洗方法

时间：2020-06-15 点击次数：143

　　石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统，是专门为在金属箔上生长薄膜而设计，广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上，特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。但使用过后石墨烯生长炉管内的石英管该如何清洗呢？下面介绍一种省钱省力又有效的清洗方法：
1、将石墨烯生长炉的炉体升温至600-900度，并保持恒温，同时缶石墨烯生长炉内的石英管内通入氧气，持续时间1-2小时；
2、待石墨烯生长炉的炉体内温度降至室温，使用含有硝酸铁的高岭土擦拭石英管内壁，直至石英管内壁上的附着物消失；
3、移除石英管内的高岭土，使用沾取酒精的无尘布擦拭石英管整个腔体；
4、待石英管内目检无残留物后，向石英管内通入氮气吹扫。
本清洗方案是采用氧气燃耗的方法，除去碳物质残留，利用机械摩擦及化学试剂去除生长基底物质残留，不需要采购专用的清洗机台，节省了不菲的设备购置费，不需要拆卸炉体内石英管，节省了设备维护的时间。

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