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型号:KJ-T1200-S6030-PE
简要描述:
KJ-T1200-S6030-PE(等离子体增强化学气相沉积系统)由外径60mm的滑道式管式炉,3路质量流量计系统,300W射频电源系统和真空系统组成。
技术参数:aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
型号aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
KJ-T1200-S6030-PEaNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉体结构aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
滑轨式aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最高工作温度aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1200℃ aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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持续工作温度aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤1100℃aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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加热速率aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最高20℃/min (建议10℃/min)aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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加热区长度aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
300mm 单温区aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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加热元件aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
含钼电阻丝aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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热电偶aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
K 型aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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控温精度aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
±1℃aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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炉管尺寸aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管直径Φ50,Φ60,Φ80都可用aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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材质: 高纯石英aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
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温度控制器aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
PID智能程序控温aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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真空法兰aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空法兰采用304不锈钢制作aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 · 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 · 右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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输入电源aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
单相 220V, 50 Hz 功率:3KWaNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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真空泵系统aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
旋片真空泵带数字真空计aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 (包含KF25接口和可移动箱体)aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
极限真空度 10-3 Torr. aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 炉管内真空度 10-2 Torr.抽速: 4CFM (2L/S, 120L/min)aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
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等离子体射频电源 (图片仅供参考)aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
功率范围aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0-300W(连续可调)aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作频率aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
13.56MHZ+0.005%aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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工作模式aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
连续输出aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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供电电源/频率aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
单相交流 (187V-253V)50-60HZaNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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射频输出接口aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
UHF maleaNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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功率稳定度aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤2WaNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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最大反射功率aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
<2WaNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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谐波分量aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤-50 (dBc)aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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电源保护设置aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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冷却方式aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
强制风冷aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
等离子电源功率可选aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
200w/300w/500w/1000waNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质量流量计aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
3路高精度质量流量计: aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 量程:aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC 1: 0~100 sccm aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC 2: 0~500 sccmaNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC 3: 0~1000 sccmaNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 底部安装有一个混气罐,左侧安装有3个不锈钢针阀,可手动控制3种气体的流量。aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
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注意事项aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管内气压不可高于0.02MPaaNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 · 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 · 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 · 石英管的长时间使用温度<1100℃aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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质保aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
一年质保期相关耗材除外,如加热元件,密封圈等易耗件aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 aNG管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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