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滑轨式CVD
滑轨式CVD

滑轨式CVD

型号:KJ-T1200-S6030-PE

简要描述:

KJ-T1200-S6030-PE(等离子体增强化学气相沉积系统)由外径60mm的滑道式管式炉,3路质量流量计系统,300W射频电源系统和真空系统组成。

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详细介绍
产品简介:  akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
  KJ-T1200-S6030-PE(等离子体增强化学气相沉积系统)由外径60mm的滑道式管式炉,3路质量流量计系统,300W射频电源系统和真空系统组成。akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
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主要用途:akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备,生长薄膜石墨烯、金属薄膜、陶瓷薄膜、符合薄膜等,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。
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技术参数:akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

     型号akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

KJ-T1200-S6030-PEakk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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炉体结构akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

滑轨式akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高工作温度akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1200℃ akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

持续工作温度akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤1100℃akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热速率akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高20℃/min (建议10℃/min)akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热区长度akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

300mm 单温区akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热元件akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

含钼电阻丝akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

热电偶akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

K 型akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

控温精度akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

±1℃akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管尺寸akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管直径Φ50Φ60Φ80都可用akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

材质:  高纯石英akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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温度控制器akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

PID智能程序控温akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空法兰akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空法兰采用304不锈钢制作akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 左端法兰上安装不锈钢针阀和一个球阀。akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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输入电源akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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单相 220V, 50 Hz  功率:3KWakk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空泵系统akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

旋片真空泵带数字真空计akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

(包含KF25接口和可移动箱体)akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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极限真空度 10-3 Torr. akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管内真空度 10-2 Torr.抽速: 4CFM  (2L/S, 120L/min)akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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等离子体射频电源akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

(图片仅供参考)akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

功率范围akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

0-300W(连续可调)akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

工作频率akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

13.56MHZ+0.005%akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

工作模式akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

连续输出akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

供电电源/频率akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

单相交流 (187V-253V)50-60HZakk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

射频输出接口akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

UHF maleakk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

功率稳定度akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤2Wakk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最大反射功率akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

<2Wakk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

谐波分量akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤-50 (dBc)akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

电源保护设置akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

冷却方式akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

强制风冷akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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等离子电源功率可选akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

200w/300w/500w/1000wakk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

质量流量计akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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3路高精度质量流量计: akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

量程:akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

MFC 1: 0~100 sccm     akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

MFC 2: 0~500 sccmakk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

MFC 3: 0~1000 sccmakk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

底部安装有一个混气罐,左侧安装有3个不锈钢针阀,可手动控制3种气体的流量。akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

(图片仅供参考)akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

注意事项akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管内气压不可高于0.02MPaakk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 石英管的长时间使用温度<1100℃akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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质保akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

一年质保期相关耗材除外,如加热元件,密封圈等易耗件akk管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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