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滑轨式CVD
滑轨式CVD

滑轨式CVD

型号:KJ-T1200-S6030-PE

简要描述:

KJ-T1200-S6030-PE(等离子体增强化学气相沉积系统)由外径60mm的滑道式管式炉,3路质量流量计系统,300W射频电源系统和真空系统组成。

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详细介绍
产品简介:  ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
  KJ-T1200-S6030-PE(等离子体增强化学气相沉积系统)由外径60mm的滑道式管式炉,3路质量流量计系统,300W射频电源系统和真空系统组成。ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
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主要用途:ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备,生长薄膜石墨烯、金属薄膜、陶瓷薄膜、符合薄膜等,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。
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技术参数:ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

     型号ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

KJ-T1200-S6030-PEihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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炉体结构ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

滑轨式ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高工作温度ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1200℃ ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

持续工作温度ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤1100℃ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热速率ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高20℃/min (建议10℃/min)ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热区长度ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

300mm 单温区(可根据客户需求定制)ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热元件ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

含钼电阻丝ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

热电偶ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

N 型ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

控温精度ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

±1℃ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管尺寸ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管直径Φ50Φ60Φ80都可用(可根据客户需求定制)ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

材质:  高纯石英ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

温度控制器ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

PID智能程序控温ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空法兰ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空法兰采用304不锈钢制作ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 左端法兰上安装不锈钢针阀和一个球阀。ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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真空泵系统ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

旋片真空泵带数字真空计ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

(包含KF25接口和可移动箱体)ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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质量流量计ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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3路高精度质量流量计: ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

量程:ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

MFC 1: 0~100 sccm     ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

MFC 2: 0~500 sccmihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

MFC 3: 0~1000 sccmihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

底部安装有一个混气罐,左侧安装有3个不锈钢针阀,可手动控制3种气体的流量。ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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注意事项ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管内气压不可高于0.02MPaihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 石英管的长时间使用温度<1100℃ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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质保ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

一年质保期相关耗材除外,如加热元件,密封圈等易耗件ihx管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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