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单温区微型CVD系统
单温区微型CVD系统

单温区微型CVD系统

型号:KJ-T1200-S5020-F

简要描述:

单温区微型CVD系统是由MINI管式炉和两通道浮子流量计气路和真空系统组成的一款特殊的CVD系统,适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原。

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详细介绍
产品介绍:R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
KJ-T1200-S5020-F单温区微型CVD系统是由MINI管式炉和两通道浮子流量计气路和真空系统组成的一款特殊的CVD系统,适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
技术参数:
R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
                                                                                                             

型号R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

KJ-T1200-S5020-FR2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

mini管式炉R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管直径R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

Φ50R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热区R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

200mmR2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

温度温度R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高1200℃,工作温度1100℃R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热速率R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

0-20℃/min,建议20℃/minR2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

控温精度R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

±1℃R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热元件R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

                            含钼电阻丝R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

控制方式R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

PID智能化多段程序控温R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管材质R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

石英管R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

额定电压R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

110-415V,50/60HzR2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

气路系统R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

浮子流量计R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

两个浮子流量计量程为16 —160mL/min ,混气箱上安装有不锈钢针阀,后端装有φ6.35卡套接头,无需通电R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空系统R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空泵R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1.采用国产真空泵,真空度达 1.5 x 10-3 Torr R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

3.进口数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

注意事项R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管内气压不可高于0.02MPaR2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 石英管的长时间使用温度<1100℃R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

质保R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)R2q管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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