单温区微型CVD系统-郑州科佳电炉

单温区微型CVD系统

型号：KJ-T1200-S5020-F

简要描述：

单温区微型CVD系统是由MINI管式炉和两通道浮子流量计气路和真空系统组成的一款特殊的CVD系统，适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原。

产品介绍：
KJ-T1200-S5020-F单温区微型CVD系统是由MINI管式炉和两通道浮子流量计气路和真空系统组成的一款特殊的CVD系统，适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。
技术参数：

型号	KJ-T1200-S5020-F
mini管式炉
炉管直径	Φ50(可根据客户需求定制)
加热区	200mm(可根据客户需求定制)
温度温度	最高1200℃，工作温度1100℃
加热速率	0-20℃/min，建议20℃/min
控温精度	±1℃
加热元件	含钼电阻丝
控制方式	PID智能化多段程序控温
炉管材质	石英管
气路系统
浮子流量计	两个浮子流量计量程为16 —160mL/min ，混气箱上安装有不锈钢针阀，后端装有φ6.35卡套接头，无需通电
真空系统
真空泵	1.采用国产真空泵，真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连； 3.进口数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换
注意事项	炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质保	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

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单温区微型CVD系统