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单温区微型CVD系统
单温区微型CVD系统

单温区微型CVD系统

型号:KJ-T1200-S5020-F

简要描述:

单温区微型CVD系统是由MINI管式炉和两通道浮子流量计气路和真空系统组成的一款特殊的CVD系统,适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原。

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详细介绍
产品介绍:
KJ-T1200-S5020-F单温区微型CVD系统是由MINI管式炉和两通道浮子流量计气路和真空系统组成的一款特殊的CVD系统,适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。
技术参数:

                                                                                                             

型号

KJ-T1200-S5020-F

mini管式炉

炉管直径

Φ50

加热区

200mm

温度温度

最高1200℃,工作温度1100℃

加热速率

0-20℃/min,建议20℃/min

控温精度

±1℃

加热元件

                            含钼电阻丝

控制方式

PID智能化多段程序控温

炉管材质

石英管

额定电压

110-415V,50/60Hz

气路系统

浮子流量计

两个浮子流量计量程为16 —160mL/min ,混气箱上安装有不锈钢针阀,后端装有φ6.35卡套接头,无需通电

真空系统

真空泵

1.采用国产真空泵,真空度达 1.5 x 10-3 Torr

2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;

3.进口数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换

注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度<1100℃

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

质保

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)



 


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