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单温区四通道CVD系统
单温区四通道CVD系统

单温区四通道CVD系统

型号:KJ-T1200-S6030-LC4

简要描述:

KJ-T1200-S6030-LC4单温区四通道CVD系统,是由KJ-T1200单温区管式炉,四路质量流量计混气系统和进口真空计真空泵组成,此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试。

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详细介绍
产品介绍:Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
KJ-T1200-S6030-LC4单温区四通道CVD系统,是由KJ-T1200单温区管式炉,四路质量流量计混气系统和进口真空计真空泵组成,此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容气氛烧结等实验。Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
技术参数:
Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

   产品名称Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

单温区四通道CVD系统Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

     型号Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

KJ-T1200-S6030-LC4Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

管式炉Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高工作温度Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1200℃ Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

持续工作温度Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤1100℃Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热速率Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高20℃/min (建议10℃/min)Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热区长度Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

300mm 单温区Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热元件Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

含钼电阻丝Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

热电偶Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

K 型Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

控温精度Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

±1℃Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管尺寸Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管直径Φ60Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

材质:  高纯石英Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

温度控制器Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

PLC触屏控制Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空法兰Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空法兰采用304不锈钢制作Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 左端法兰上安装不锈钢针阀和一个球阀。Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

输入电源Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

单相 220V, 50 Hz  功率:3KWGa0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空泵系统Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空泵Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

采用国产真空泵,真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

进口数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

质量流量计Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

四通道精密质量流量计:旋钮控制,数字显示,量程范围Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1.MFC 1-MFC4:0-500sccm可调Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

2.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体;Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

3.进出气口:4进1出Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

4.连接方式:双卡套连接Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

注意事项Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管内气压不可高于0.02MPaGa0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 石英管的长时间使用温度<1100℃Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

质保Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

Ga0管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
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