单温区四通道CVD系统-郑州科佳电炉

单温区四通道CVD系统

型号：KJ-T1200-S6030-LC4

简要描述：

KJ-T1200-S6030-LC4单温区四通道CVD系统，是由KJ-T1200单温区管式炉，四路质量流量计混气系统和进口真空计真空泵组成，此款CVD生长系统适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试。

产品介绍：
KJ-T1200-S6030-LC4单温区四通道CVD系统，是由KJ-T1200单温区管式炉，四路质量流量计混气系统和进口真空计真空泵组成，此款CVD生长系统适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容气氛烧结等实验。
技术参数：

产品名称		单温区四通道CVD系统
型号		KJ-T1200-S6030-LC4
管式炉	最高工作温度	1200℃
	持续工作温度	≤1100℃
	加热速率	最高20℃/min （建议10℃/min）
	加热区长度	300mm 单温区
	加热元件	含钼电阻丝
	热电偶	K 型
	控温精度	±1℃
	炉管尺寸	炉管直径Φ60
	炉管尺寸	材质: 高纯石英
	温度控制器	PLC触屏控制
	真空法兰	真空法兰采用304不锈钢制作 · 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。 · 右端法兰设计为KF25接口，配有挡板阀和两个KF25卡箍注：法兰可选结构，标准螺丝法兰，快接KF法兰，铰链法兰
	输入电源	单相 220V, 50 Hz 功率：3KW
真空泵系统	真空泵	采用国产真空泵，真空度达 1.5 x 10-³Torr 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连；进口数字式真空显示计，其测量范围为5×10^-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换
质量流量计	四通道精密质量流量计：旋钮控制，数字显示，量程范围 1.MFC 1-MFC4：0-500sccm可调 2.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体； 3.进出气口：4进1出 4.连接方式：双卡套连接
注意事项	炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质保	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

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