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型号:KJ-T1200-S6030-LC4
简要描述:
KJ-T1200-S6030-LC4单温区四通道CVD系统,是由KJ-T1200单温区管式炉,四路质量流量计混气系统和进口真空计真空泵组成,此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试。
产品名称 |
单温区四通道CVD系统 |
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型号 |
KJ-T1200-S6030-LC4 |
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管式炉 |
最高工作温度 |
1200℃ |
持续工作温度 |
≤1100℃ |
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加热速率 |
最高20℃/min (建议10℃/min) |
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加热区长度 |
300mm 单温区 |
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加热元件 |
含钼电阻丝 |
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热电偶 |
K 型 |
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控温精度 |
±1℃ |
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炉管尺寸 |
炉管直径Φ60 |
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材质: 高纯石英 |
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温度控制器 |
PLC触屏控制 |
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真空法兰 |
真空法兰采用304不锈钢制作 · 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。 · 右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍 注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰 |
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输入电源 |
单相 220V, 50 Hz 功率:3KW |
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真空泵系统 |
真空泵 |
采用国产真空泵,真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连; 进口数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换 |
质量流量计
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四通道精密质量流量计:旋钮控制,数字显示,量程范围 1.MFC 1-MFC4:0-500sccm可调 2.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体; 3.进出气口:4进1出 4.连接方式:双卡套连接 |
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注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
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质保 |
质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围) |
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