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1400℃高真空CVD系统
1400℃高真空CVD系统

1400℃高真空CVD系统

型号:KJ-T1400-L1030-LZ4

简要描述:

KJ-T1400-L1030-LZ4是由KJ-T1400单温区管式炉,四路质量混气系统和高真空扩散泵机组组成。其最高工作温度可达1400℃,极限真空度可达 6.67x10-3 Pa。混气系统可以四种气体进行准确的混气。

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详细介绍
 

产品介绍:iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
KJ-T1400-L1030-LZ4是由KJ-T1400单温区管式炉,四路质量混气系统和高真空扩散泵机组组成。其最高工作温度可达1400℃,极限真空度可达 6.67x10-3 Pa。混气系统可以四种气体进行准确的混气,然后导入到管式炉内部。iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
技术参数:
iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

产品名称

 iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1400℃高真空CVD系统iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

     型号iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

KJ-T1400-L1030-LZ4iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

管式炉iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高温度iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1400℃ iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

工作温度iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤1300℃iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热速率iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高20℃/min (建议10℃/min)iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热区长度iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 300mmiEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热元件iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

硅碳棒iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

热电偶iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

S型iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

控温精度iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

±1℃iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管尺寸iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管直径Φ100mmiEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

材质:  刚玉炉管iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

温度控制器iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

PID智能化30段程序控温iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空法兰iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空法兰采用304不锈钢制作iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

输入电源iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

单相 220V, 50 Hz  功率:4KWiEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空泵系统iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

扩散泵iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

采用扩散泵泵,真空度达 6.67 x 10-3 Pa 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连,采用复合数显真空计iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

气路系统iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

四通道精密质量流量计:手动智能控制,数字显示,每路气体控制均可在不同气体中任意切换,无须人工换算;iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1.MFC 1-MFC4:0-500sccm可调iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

2.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制3种气体;iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

3.进出气口:4进1出iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

4.连接方式:双卡套连接iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

水冷机(选配)iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

配有循环水冷机,可以对炉管及真空泵进行冷却iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

注意事项iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管内气压不可高于0.02MPaiEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热炉管的冲击iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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质保iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)iEh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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