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产品介绍：
KJ-T1400-L1030-LZ4是由KJ-T1400单温区管式炉，四路质量混气系统和高真空扩散泵机组组成。其最高工作温度可达1400℃，极限真空度可达 6.67x10-3 Pa。混气系统可以四种气体进行准确的混气，然后导入到管式炉内部。
技术参数：
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产品名称
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1400℃高真空CVD系统 |
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型号 |
KJ-T1400-L1030-LZ4 |
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管式炉 |
最高温度 |
1400℃ |
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工作温度 |
≤1300℃ |
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加热速率 |
最高20℃/min （建议10℃/min） |
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加热区长度 |
300mm |
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加热元件 |
硅碳棒 |
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热电偶 |
S型 |
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控温精度 |
±1℃ |
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炉管尺寸 |
炉管直径Φ100mm |
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材质: 刚玉炉管 |
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温度控制器 |
PID智能化30段程序控温 |
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真空法兰 |
真空法兰采用304不锈钢制作 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。 右端法兰设计为KF25接口，配有挡板阀和两个KF25卡箍 |
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输入电源
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单相 220V, 50 Hz 功率：4KW |
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真空泵系统 |
扩散泵 |
采用扩散泵泵组，真空度达 6.67 x 10-3 Pa 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连，采用复合数显真空计 |
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气路系统
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四通道精密质量流量计：手动智能控制，数字显示，每路气体控制均可在不同气体中任意切换，无须人工换算； 1.MFC 1-MFC4：0-500sccm可调 2.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制3种气体； 3.进出气口：4进1出 4.连接方式：双卡套连接 |
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水冷机（选配） |
配有循环水冷机，可以对炉管及真空泵进行冷却 |
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注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热炉管的冲击 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
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质保 |
质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围） |
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