多通道质子流量计控制系统-郑州科佳电炉

多通道质子流量计控制系统

型号：KJ-ZD

简要描述：

KJ-ZD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜最大可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时。

产品概述：
KJ-ZD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜最大可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。

技术参数：

功能

双通道

三通道

四通道

五通道

质子流量控制器

产品型号	D07
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm
准确度	±1.5％F.S.
重复精度	±0.2% FS
线性	±1％F.S.
响应时间	≤10sec
工作温度范围	(5-45)°C
工作压差范围	0.1-0.5MPa
耐压	3MPa
输入输出信号	0v--+5.00v
电源	±15V

输入电源

AC 220V/50Hz单相

PLC触摸屏

各通道的气路设定和查看都集中在7寸的触摸屏上

RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制

机械压力表

有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接

量程:-0.1-0.15 MPa

针阀

316 不锈钢

通气管道

内部连接管道为1/4”不锈钢管

外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

容积约100ml

截止阀及配件

316不锈钢针阀

Φ1/4” 不锈钢管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

质量认证

CE认证

质保期

一年质保期，终身维护

产品中心

多通道质子流量计控制系统