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3路混气系统
3路混气系统

3路混气系统

型号:

简要描述:

三路浮子气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入,结合科佳的管式炉使用。

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详细介绍
产品概述:

三路浮子气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入,结合科佳的管式炉使用,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
技术参数:
Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

产品名称Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

3路浮子混气系统Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

浮子流量计Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

三种不同量程的浮子流量计,控制精度4%Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

A:10 - 100mL/minFum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

B:16 - 160mL/minFum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

C:25 - 250mL/minFum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

机械压力表(混气罐)Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

-0.1-0.15 MpaFum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

接头和气管Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

在混气系统右侧安装三个气体进口,可连接四氟管Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空针阀Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

采用304不锈钢Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

安装在混气系统的右侧Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

可选Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

CVD或者PECVD            精密液体发生器Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

质保期Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

一年保修,终身技术支持。Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。Fum管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 


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