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产品概述：
三路浮子气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入，结合科佳的管式炉使用，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
技术参数：
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产品名称 |
3路浮子混气系统 |
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浮子流量计 |
三种不同量程的浮子流量计，控制精度4% A：10 - 100mL/min B：16 - 160mL/min C：25 - 250mL/min |
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机械压力表（混气罐） |
-0.1-0.15 Mpa |
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接头和气管 |
在混气系统右侧安装三个气体，可连接四氟管 |
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真空针阀 |
采用304不锈钢 安装在混气系统的右侧 |
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可选 |
CVD或者PECVD 精密液体气相发生器 |
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质保期 |
一年保修，终身技术支持。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |