1400℃三温区CVD系统-郑州科佳电炉

产品介绍：
KJ-T1400-L6030-LC3是由KJ-T1400三温区管式炉，3路质量流量计混气系统和真空机组组成。其最高工作温度可达1400℃，极限真空度可达 10-3 torr。混气系统可以对三种气体进行准确的混气，然后导入到管式炉内部。

技术参数：

产品名称		1400℃三温区CVD系统
型号		KJ-T1400-L6030-LC3
最高温度		1400℃
其他参数	工作温度	≤1300℃
	加热速率	最高20℃/min （建议10℃/min）
	加热区长度	三温区，每个温区200mm(可根据客户需求定制)
	加热元件	硅碳棒
	热电偶	S型
	控温精度	±1℃
	炉管尺寸	炉管直径Φ50，Φ60，Φ80都可用(可根据客户需求定制)
	材质	刚玉炉管
	温度控制器	PID智能化30段程序控温
	真空法兰	真空法兰采用304不锈钢制作左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。右端法兰设计为KF25接口，配有挡板阀和两个KF25卡箍注：法兰可选结构，标准螺丝法兰，快接KF法兰，铰链法兰
	真空泵系统	真空泵	采用真空泵，真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连；数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换
气路系统	三通道精密质量流量计：手动智能控制，数字显示，每路气体控制均可在不同气体中任意切换，无须人工换算； 1.MFC 1-MFC3：0-500sccm可调 2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制3种气体； 3.进出气口：3进1出 4.连接方式：双卡套连接
水冷机（选配）	配有循环水冷机，可以对炉管及真空泵进行冷却
注意事项	炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热炉管的冲击对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质保	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

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1400℃三温区CVD系统