石墨烯生长炉CVD系统

产品名称

石墨烯生长炉CVD系统

     型号

KJ-1200-S6014LK1-H

滑轨管式炉

炉体结构

滑轨式

最高工作温度

1200℃ 

持续工作温度

≤1100℃

加热速率

最高20℃/min （建议10℃/min）

加热区长度

300mm 单温区

加热元件

含钼电阻丝

热电偶

K 型

控温精度

±1℃

炉管直径

Φ50，Φ60，Φ80都可用

炉管材质

石英炉管

温度控制器

PID智能程序控温

真空法兰

真空法兰采用304不锈钢制作

左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。右端法兰设计为KF25接口，配有挡板阀和两个KF25卡箍

注：法兰可选结构，标准螺丝法兰，快接KF法兰，铰链法兰

输入电源

单相 220V, 50 Hz  功率：3KW

真空泵系统

旋片真空泵带数字真空计

（包含KF25接口和可移动箱体）

 极限真空度 10-3 Torr.

炉管内真空度 10-2 Torr.

抽速: 4CFM  (2L/S, 120L/min)

备注：用户可根据真空度要求不同可选用旋片真泵、扩散泵组，分子泵组

质量流量计

3路高精度质量流量计:

量程：MF1-MF3量程范围50-1000sccm可调

底部安装有一个混气罐，左侧安装有3个不锈钢针阀，可手动控制3种气体的流量。

注意事项

. 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全

· 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度＜1100℃

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

认证

ISO认证、CE认证

售后服务

质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）