多温区CVD系统-三温区同时热处理-高处理效率-化学气相沉积镀膜-高精度-郑州科佳电炉

产品介绍:

KJ-TCVD1600-L80LB3是一个CE认证的三温区管式炉CVD系统。炉管直径为80mm。真空泵采用双旋转机械泵，气体混合系统为4路质量气体混合系统。该炉工作温度可达1600℃，真空度可达10pa。属于CVD系统的一种。

3温区管式CVD系统实拍图

1、发热元件采用优良MoSi2，炉膛采用陶瓷纤维材料，保温性能好，经久耐用，抗拉强度高，无杂志，纯度高，节能效果明显。
2、超温报警及断电、漏电保护，运行安全可靠。
3、独立温控器，30级可编程温度。

加热系统（管式炉）
最高温度	1700 ℃
工作温度	1600℃
显示	LED显示屏
管径	80mm（外径）
管材	优质铝管
热区长度	220+220+220mm（每个热区之间会有间隙）
加热元件	MoSi2
加热速率	0-5℃/min
温度控制	● PID自动通过SCR（可控硅整流器）控制功率，相位角触发，限流电阻器。 ● 30个可编程段，用于控制加热速率、冷却速率和停留时间。 ● 内置PID自动调节功能，具有过热和热电偶损坏保护功能。 ● 超温保护和报警，允许在无人值守的情况下操作。
热电偶	3个热电偶（测量和温度控制功能），位于每个热区的中间（管道外侧） 1个热电偶（仅测量温度），位于管内。
温控精度	±1℃
炉膛结构	双层钢制外壳，带双冷却风扇，炉壳温度低于60℃。一体式不可打开炉门。
真空法兰	带阀门的不锈钢真空法兰
工作电压	220V 50Hz
最大功率	6KW
供气系统
4通道质子流量计：	MFC 1：气体流量范围为0~100sccm MFC 2：控制范围为0~200 sccm MFC3：控制范围为0-500sccm MFC4：控制范围为0~200 sccm 一个气体混合罐安装在底部壳体上，带有液体释放阀底壳左侧安装4个不锈钢针阀，控制4种气体混合
真空泵+真空计系统
真空泵+真空计	配备旋转叶片泵，使真空度达到10Pa（冷却状态）

3温区管式CVD系统实拍图