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产品介绍：
KJ-1200-S6010LC3-3Z设备是由触屏管式炉、三路混气气路系统、进口真空系统、300w等离子电源系统组成，可用于石墨烯制备。
主要特点：
1、通过SE频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过SE频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长。
KJ-1200-S6010LC3-3Z设备是由触屏管式炉、三路混气气路系统、进口真空系统、300w等离子电源系统组成，可用于石墨烯制备。
主要特点：
1、通过SE频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过SE频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长。
技术参数：
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型号 |
KJ-1200-S6010LC3-3Z |
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管式炉 |
最高工作温度 |
1200℃ |
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持续工作温度 |
≤1100℃ |
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加热速率 |
最高20℃/min （建议10℃/min） |
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加热区长度 |
300mm 单温区 |
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加热元件 |
含钼电阻丝 |
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热电偶 |
K 型 |
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控温精度 |
±1℃ |
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炉管尺寸 |
炉管直径Φ50，Φ60，Φ80都可用 |
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材质: 高纯石英
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温度控制器 |
PLC触屏控制 |
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真空法兰 |
真空法兰采用304不锈钢制作 · 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。 · 右端法兰设计为KF25接口，配有挡板阀和两个KF25卡箍 注：法兰可选结构，标准螺丝法兰，快接KF法兰，铰链法兰
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输入电源
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单相 220V, 50 Hz 功率：3KW |
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真空泵系统 |
进口真空泵 |
采用进口真空泵，真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连； 进口数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换 |
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（图片仅供参考） |
功率范围 |
0-300W（连续可调） |
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工作频率 |
13.56MHZ+0.005% |
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工作模式 |
连续输出 |
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供电电源/频率 |
单相交流 (187V-253V)50-60HZ |
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射频输出接口 |
UHF male |
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功率稳定度 |
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最大反射功率 |
＜2W |
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谐波分量 |
≤-50 (dBc) |
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电源保护设置 |
DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护 |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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等离子电源功率可选 |
200w/300w/500w/1000w |
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触屏质量流量计
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三通道精密质量流量计：液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体控制均可在不同气体中任意切换，无须人工换算； 1.MFC 1-MFC3：0-500sccm可调 2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制3种气体； 3.进出气口：3进1出 4.连接方式：双卡套连接 |
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注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
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质保 |
一年质保期相关耗材除外，如加热元件，密封圈等易耗件
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