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型号:KJ-T1200-S6030-PE
简要描述:
KJ-T1200-S6030-PE(等离子体增强化学气相沉积系统)由外径60mm的滑道式管式炉,3路质量流量计混气系统,300W射频电源系统和真空系统组成。
KJ-T1200-S6030-PE(等离子体增强化学气相沉积系统)由外径60mm的滑道式管式炉,3路质量流量计混气系统,300W射频电源系统和真空系统组成。Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
主要用途:Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备,生长薄膜石墨烯、金属薄膜、陶瓷薄膜、复合薄膜等,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
技术参数:Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
产品名称Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
等离子体增强化学气相沉积系统PECVDOuo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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型号Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
KJ-T1200-S6030-PEOuo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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炉体结构Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
滑轨式Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最高工作温度Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1200℃ Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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持续工作温度Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤1100℃Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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加热速率Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最高20℃/min (建议10℃/min)Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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加热区长度Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
300mm 单温区(可根据客户需求定制)Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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加热元件Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
含钼电阻丝Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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热电偶Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
N 型Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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控温精度Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
±1℃Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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炉管尺寸Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管直径Φ50,Φ60,Φ80都可用(可根据客户需求定制)Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
材质: 高纯石英Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
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温度控制器Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
PID智能程序控温Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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真空法兰Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空法兰采用304不锈钢制作Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 · 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 · 右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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真空泵系统Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
旋片真空泵带数字真空计Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 (包含KF25接口和可移动箱体)Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 极限真空度 10-3 Torr. Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 炉管内真空度 10-2 Torr.抽速: 4CFM (2L/S, 120L/min) |
冷却方式Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
强制风冷Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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质量流量计Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
3路高精度质量流量计: Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 量程:Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC 1: 0-100 sccm Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC 2: 0-500 sccmOuo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC 3: 0-1000 sccmOuo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 底部安装有一个混气罐,左侧安装有3个不锈钢针阀,可手动控制3种气体的流量。Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
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注意事项Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管内气压不可高于0.02MPaOuo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 · 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 · 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 · 石英管的长时间使用温度<1100℃Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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质保Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
一年质保期相关耗材除外,如加热元件,密封圈等易耗件Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 Ouo管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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