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型号:KJ-T1200-S10LC2-HY
简要描述:
PECVD系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应。
产品名称 |
滑动式双温区PECVD系统(CE认证) |
滑轨管式炉部分 |
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产品型号 |
KJ-T1200-S10LC2-HY |
炉管尺寸 |
Φ100mmX1600mm |
炉管材质 |
石英管 |
加热区 |
双温区,每个温区长度200mm |
工作温度 |
1100℃ |
最高温度 |
1200℃ |
温控方式 |
K型热电偶 |
控制方式 |
触屏控制 |
控温精度 |
±1℃ |
温控保护 |
具有超温和断偶保护功能 |
升温速率 |
0-20ºC/min ,建议10ºC/min |
加热元件 |
含钼电阻丝 |
工作电压 |
AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制) |
加热功率 |
3KW |
炉膛材料 |
氧化铝多晶纤维 |
炉体结构 |
炉体带滑轨,可实现快速升温和降温 |
法兰接头 |
标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
密封系统 |
该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。 |
真空系统部分 |
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名称 |
真空系统 |
主要参数 |
1.采用高真空分子泵组,炉管内真空度可达10-3pa 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连; 3.防腐型进口英富康数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换。 |
气路系统部分 |
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名称 |
四路质量流量计 |
主要参数 |
四通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示,自动控制。可实现进气智能控制,设置分段进气,用户可根据自己的使用需求组合设置进气工艺。 流量范围流量范围: 1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可调 2.一个混气罐 3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体; 4.进出气口:3进1出 流量控制:手动旋转式调节 连接方式:双卡套连接 |
等离子电源部分 |
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名称 |
500W等离子电源 |
功率范围 |
0-500W(连续可调) |
工作频率 |
13.56MHZ+0.005% |
工作模式 |
连续输出 |
射频输出阻抗接口 |
N-type,female(50Ω) |
功率稳定度 |
≤2W |
最大反射功率 |
70W |
电源保护设置 |
DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护 |
供电电压/频率 |
单相交流(187V-253V)50-60HZ |
冷却方式 |
风冷 |
整机尺寸 |
88X483X550 MM |
整机重量 |
13.5KG |
认证 |
ISO认证、CE认证 |
售后服务 |
质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围) |
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