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滑动式双温区PECVD系统
滑动式双温区PECVD系统

滑动式双温区PECVD系统

型号:KJ-T1200-S10LC2-HY

简要描述:

PECVD系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应。

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详细介绍
设备基本原理:8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
PECVD系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,环境温度在100-300℃,但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解、离解和离化,从而大大提高了反应物的活性,这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上,发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜,因此这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
设备基本结构:8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
KJ-T1200-S10LC2-HY滑动式双温区PECVD系统,由KJ-T1200双温区滑轨管式炉、高真空系统、质子流量计气路系统、等离子电源系统组成。可适用于石墨烯生长等。8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
产品优点:8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
1、与传统的CVD相比,只需较低的制备温度8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
2、滑轨式可快速加热和快速冷却   8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
3、两个加热区,温度梯度最大可达 200ºC ,最高工作温度1100°C   8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
4、提供一个宽范围的材料制备 ,如碳和 ZnO 纳米管或纳米线以及单层石墨烯。8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
技术参数:

产品名称8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

滑动式双温区PECVD系统8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

滑轨管式炉部分8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

产品型号8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

KJ-T1200-S10LC2-HY8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管尺寸8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

Φ100mmX1600mm(可根据客户需求定制)8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管材质8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

石英管8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热区8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

双温区,每个温区长度200mm(可根据客户需求定制)8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

工作温度8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1100℃8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高温度8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1200℃8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

温控方式8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

N型热电偶8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

控制方式8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

触屏控制8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

控温精度8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

±1℃8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

温控保护8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

具有超温和断偶保护功能8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

升温速率8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

0-20ºC/min  ,建议10ºC/min8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热元件8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

含钼电阻丝8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉膛材料8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

氧化铝多晶纤维8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉体结构8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉体带滑轨,可实现快速升温和降温8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

法兰接头8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

密封系统8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

                     真空系统部分8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

名称8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空系统8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

主要参数8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1.采用高真空分子泵组,炉管内真空度可达10-3pa8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

3.防腐型英富康数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换。8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

气路系统部分8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

名称8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

路质流量计8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

主要参数8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示,自动控制。可实现进气智能控制,设置分段进气,用户可根据自己的使用需求组合设置进气工艺。8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

流量范围流量范围:8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可调8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

2.一个混气罐8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体;8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

4.进出气口:3进1出8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

流量控制:手动旋转式调节8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

连接方式:双卡套连接8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

冷却方式8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

风冷8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

售后服务8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 


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