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型号:KJ-T1200-S10LC2-HY
简要描述:
PECVD系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应。
产品名称8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
滑动式双温区PECVD系统8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
滑轨管式炉部分8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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产品型号8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
KJ-T1200-S10LC2-HY8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管尺寸8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
Φ100mmX1600mm(可根据客户需求定制)8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管材质8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
石英管8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热区8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
双温区,每个温区长度200mm(可根据客户需求定制)8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作温度8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1100℃8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最高温度8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1200℃8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温控方式8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
N型热电偶8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控制方式8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
触屏控制8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控温精度8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
±1℃8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温控保护8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
具有超温和断偶保护功能8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
升温速率8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0-20ºC/min ,建议10ºC/min8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热元件8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
含钼电阻丝8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉膛材料8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
氧化铝多晶纤维8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉体结构8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉体带滑轨,可实现快速升温和降温8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
法兰接头8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
密封系统8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空系统部分8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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名称8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空系统8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
主要参数8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1.采用高真空分子泵组,炉管内真空度可达10-3pa8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 3.防腐型英富康数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换。8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路系统部分8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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名称8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
四路质量流量计8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
主要参数8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
四通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示,自动控制。可实现进气智能控制,设置分段进气,用户可根据自己的使用需求组合设置进气工艺。8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 流量范围流量范围:8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可调8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 2.一个混气罐8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体;8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 4.进出气口:3进1出8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 流量控制:手动旋转式调节8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 连接方式:双卡套连接8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
冷却方式8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
风冷8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
售后服务8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)8vj管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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