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型号:KJ-T1200-S10LC2-HY
简要描述:
PECVD系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应。
产品名称kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
滑动式双温区PECVD系统kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
滑轨管式炉部分kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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产品型号kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
KJ-T1200-S10LC2-HYkec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管尺寸kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
Φ100mmX1600mm(可根据客户需求定制)kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管材质kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
石英管kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热区kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
双温区,每个温区长度200mm(可根据客户需求定制)kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作温度kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1100℃kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最高温度kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1200℃kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温控方式kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
N型热电偶kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控制方式kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
触屏控制kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控温精度kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
±1℃kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温控保护kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
具有超温和断偶保护功能kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
升温速率kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0-20ºC/min ,建议10ºC/minkec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热元件kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
含钼电阻丝kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉膛材料kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
氧化铝多晶纤维kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉体结构kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉体带滑轨,可实现快速升温和降温kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
法兰接头kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
密封系统kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空系统部分kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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名称kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空系统kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
主要参数kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1.采用高真空分子泵组,炉管内真空度可达10-3pakec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 3.防腐型英富康数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换。kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路系统部分kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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名称kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
四路质量流量计kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
主要参数kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
四通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示,自动控制。可实现进气智能控制,设置分段进气,用户可根据自己的使用需求组合设置进气工艺。kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 流量范围流量范围:kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可调kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 2.一个混气罐kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体;kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 4.进出气口:3进1出kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 流量控制:手动旋转式调节kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 连接方式:双卡套连接kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
冷却方式kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
风冷kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
售后服务kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)kec管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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