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型号:KJ-T1200-S10LC2-HY
简要描述:
PECVD系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应。
产品名称qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
滑动式双温区PECVD系统(CE认证)qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
滑轨管式炉部分qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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产品型号qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
KJ-T1200-S10LC2-HYqVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管尺寸qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
Φ100mmX1600mmqVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管材质qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
石英管qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热区qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
双温区,每个温区长度200mmqVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作温度qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1100℃qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最高温度qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1200℃qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温控方式qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
K型热电偶qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控制方式qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
触屏控制qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控温精度qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
±1℃qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温控保护qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
具有超温和断偶保护功能qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
升温速率qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0-20ºC/min ,建议10ºC/minqVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热元件qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
含钼电阻丝qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作电压qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热功率qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
3KWqVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉膛材料qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
氧化铝多晶纤维qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉体结构qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉体带滑轨,可实现快速升温和降温qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
法兰接头qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
密封系统qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空系统部分qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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名称qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空系统qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
主要参数qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1.采用高真空分子泵组,炉管内真空度可达10-3paqVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 3.防腐型进口英富康数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换。qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路系统部分qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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名称qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
四路质量流量计qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
主要参数qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
四通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示,自动控制。可实现进气智能控制,设置分段进气,用户可根据自己的使用需求组合设置进气工艺。qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 流量范围流量范围:qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可调qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 2.一个混气罐qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体;qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 4.进出气口:3进1出qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 流量控制:手动旋转式调节qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 连接方式:双卡套连接qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
等离子电源部分qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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名称qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
500W等离子电源qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
功率范围qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0-500W(连续可调)qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作频率qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
13.56MHZ+0.005%qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作模式qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
连续输出qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
射频输出阻抗接口qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
N-type,female(50Ω)qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
功率稳定度qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤2WqVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最大反射功率qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
70WqVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
电源保护设置qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
供电电压/频率qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
单相交流(187V-253V)50-60HZqVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
冷却方式qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
风冷qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
整机尺寸qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
88X483X550 MMqVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
整机重量qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
13.5KGqVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
认证qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
ISO认证、CE认证qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
售后服务qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)qVn管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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