高真空管式PECVD系统-郑州科佳电炉

一、产品介绍
PECVD 是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统广泛应用于沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管（CNT）等。

主要功能和特点

1、加热元件采用掺钼合金加热丝，炉膛保温材料采用进口多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显优于国内纤维材料。

2、整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1200℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。

3、炉膛采用节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。

4、炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了。

5、超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠具有多重防护功能。

二、设备结构

滑道式PECVD系统由PT-1200T管式炉加热系统、真空系统、质量流量计供气系统、等离子射频电源系统组成。
三、技术参数：

产品名称	高真空管式PECVD系统(CE认证)
滑轨管式炉部分
产品型号	KJ-T1200-S6044-LK-Z
加热区长度	440mm
炉管直径	直径60mm
工作温度	≦1100℃
最高温度	1200℃
测温元件	K型热电偶
温控系统	PID微电脑可编程自动控制
控温精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
升温速率	0-20ºC/min
加热元件	高电阻电热合金丝OCr27A17Mo
工作电压	AC 220V 单相 50HZ
滑轨设计	能实现快速升降温
炉膛材料	采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好
炉管	高纯石英管
法兰	不锈钢法兰，方便拆卸，放取材料
炉壳温度	≤45℃
真空系统部分
名称	高真空分子泵组
主要参数	真空泵极限真空度10^-3 pa（包含KF25接口和可移动箱体）
真空计测量范围	其测量范围为1×10⁵--1×10^-⁵pa
气路系统部分
名称	四路质量流量计
气路	四路
流量控制	每路气体含有针阀单独控制
流量计	质量流量计
流量范围	0-1000sccm可调
工作环境温度	5℃-45℃
等离子电源系统
匹配功率范围	0-500W
工作频率	13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率	＜3W
匹配时间	＜3S
传输效率	＞90%
匹配器电源	AC220V/50-60HZ
输入连接器	N型
输出连接器	UHF
控制模式	手动/自动
可设预置点数	7
认证	ISO认证、CE认证
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

产品中心

高真空管式PECVD系统