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高真空管式PECVD系统
高真空管式PECVD系统

高真空管式PECVD系统

型号:KJ-T1200-S6044-LK-Z

简要描述:

PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应。

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详细介绍

一、产品介绍Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
    PECVD 是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统广泛应用于沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)等。
Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

主要功能和特点Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1、加热元件采用掺钼合金加热丝,炉膛保温材料采用进口多晶纤维材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,无杂球,纯度高,节能效果明显优于国内纤维材料。Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

2、整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1200℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

3、炉膛采用节能材料制作,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3,节能环保。Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

4、炉体配有:输出电压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了。Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

5、超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠具有多重防护功能。Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

二、设备结构Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

   滑道式PECVD系统由PT-1200T管式炉加热系统、真空系统、质量流量计供气系统、等离子射频电源系统组成。Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
三、技术参数:
Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

产品名称Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

高真空管式PECVD系统Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

滑轨管式炉部分Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

产品型号Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

KJ-T1200-S6044-LK-ZMiq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热区长度Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

440mm(可根据客户需求定制)Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管直径Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

直径60mm(可根据客户需求定制)Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

工作温度Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≦1100℃Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高温度Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1200℃Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

测温元件Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

N型热电偶Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

温控系统Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

PID微电脑可编程自动控制Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

控温精度Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

±1℃Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

温控保护Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

具有超温和断偶保护功能Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

升温速率Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

0-20ºC/minMiq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热元件Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

高电阻电热合金丝OCr27A17MoMiq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

滑轨设计Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

能实现快速升降温Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉膛材料Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

采用多晶纤维炉膛材料,材料保温性能好、反射率高、温场均衡Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

密封系统Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉  管Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

高纯石英管Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

   Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

不锈钢法兰,方便拆卸,放取材料Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉壳温度Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤45℃Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

                     真空系统部分Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

名称Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

高真空分子泵组Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

主要参数Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空泵极限真空度10-3 pa(包含KF25接口和可移动箱体) Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空计测量范围Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

其测量范围为1×105--1×10-5paMiq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

气路系统部分Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

名称Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

路质流量计Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

气路Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

四路Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

流量控制Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

每路气体含有针阀单独控制Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

流量计Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

质量流量计Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

流量范围Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

0-1000sccm可调Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

工作环境温度Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

5℃-45℃Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

售后服务Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)Miq管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 


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