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混气管式PECVD
混气管式PECVD

混气管式PECVD

型号:KJ-1200-S6010LC3-3Z

简要描述:

KJ-1200-S6010LC3-3Z设备是由触屏管式炉、三路混气气路系统、进口真空系统、300w等离子电源系统组成,可用于石墨烯制备。

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详细介绍

产品介绍:MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
KJ-1200-S6010LC3-3Z设备是由触屏管式炉、三路混气气路系统、进口真空系统、300w等离子电源系统组成,可用于石墨烯制备。MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
主要特点:MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

   1、通过SE频电源把石英真空室内的气体变为离子态。MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
   2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
   3、可以通过SE频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
   4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高.MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
   5、广泛应用于:各种薄膜的生长。MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
技术参数:MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

产品名称MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

混气管式PECVD系统MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

型号MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

KJ-1200-S6010LC3-3ZMrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

管式炉MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高工作温度MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1200℃ MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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持续工作温度MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤1100℃MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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加热速率MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高20℃/min (建议10℃/min)MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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加热区长度MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

300mm 单温区MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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加热元件MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

含钼电阻丝MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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热电偶MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

K 型MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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控温精度MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

±1℃MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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炉管尺寸MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管直径Φ50Φ60Φ80都可用MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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材质:  高纯石英MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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温度控制器MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

PLC触屏控制MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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真空法兰MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空法兰采用304不锈钢制作MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 左端法兰上安装不锈钢针阀和一个球阀。MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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输入电源MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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单相 220V, 50 Hz  功率:3KWMrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空泵系统MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

进口真空泵MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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采用进口真空泵,真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

进口数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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工作频率MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

13.56MHZ+0.005%MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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工作模式MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

连续输出MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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供电电源/频率MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

单相交流 (187V-253V)50-60HZMrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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射频输出接口MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

UHF maleMrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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最大反射功率MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

<2WMrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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谐波分量MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤-50 (dBc)MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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电源保护设置MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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冷却方式MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

强制风冷MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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等离子电源功率可选MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

200w/300w/500w/1000wMrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

触屏质量流量计MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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通道精密质量流量计:液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体控制均可在不同气体中任意切换,无须人工换算;MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1.MFC 1-MFC3:0-500sccm可调MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制3种气体;MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

3.进出气口:31出MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

4.连接方式:双卡套连接MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

注意事项MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

. 炉管内气压不可高于0.02MPaMrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 石英管的长时间使用温度<1100℃MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)MrZ管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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