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混气管式PECVD
混气管式PECVD

混气管式PECVD

型号:KJ-1200-S6010LC3-3Z

简要描述:

KJ-1200-S6010LC3-3Z设备是由触屏管式炉、三路混气气路系统、进口真空系统、300w等离子电源系统组成,可用于石墨烯制备。

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详细介绍

产品介绍:mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
KJ-1200-S6010LC3-3Z设备是由触屏管式炉、三路混气气路系统、进口真空系统、300w等离子电源系统组成,可用于石墨烯制备。mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
主要特点:mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

   1、通过SE频电源把石英真空室内的气体变为离子态。mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
   2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
   3、可以通过SE频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
   4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高.mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
   5、广泛应用于:各种薄膜的生长。mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
技术参数:mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

产品名称mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

混气管式PECVD系统mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

型号mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

KJ-1200-S6010LC3-3Zmp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

管式炉mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高工作温度mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1200℃ mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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持续工作温度mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤1100℃mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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加热速率mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最高20℃/min (建议10℃/min)mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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加热区长度mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

300mm 单温区mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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加热元件mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

含钼电阻丝mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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热电偶mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

K 型mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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控温精度mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

±1℃mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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炉管尺寸mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管直径Φ50Φ60Φ80都可用mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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材质:  高纯石英mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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温度控制器mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

PLC触屏控制mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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真空法兰mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空法兰采用304不锈钢制作mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 左端法兰上安装不锈钢针阀和一个球阀。mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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输入电源mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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单相 220V, 50 Hz  功率:3KWmp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空泵系统mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

进口真空泵mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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采用进口真空泵,真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

进口数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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工作频率mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

13.56MHZ+0.005%mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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工作模式mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

连续输出mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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供电电源/频率mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

单相交流 (187V-253V)50-60HZmp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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射频输出接口mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

UHF malemp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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最大反射功率mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

<2Wmp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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谐波分量mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤-50 (dBc)mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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电源保护设置mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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冷却方式mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

强制风冷mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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等离子电源功率可选mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

200w/300w/500w/1000wmp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

触屏质量流量计mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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通道精密质量流量计:液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体控制均可在不同气体中任意切换,无须人工换算;mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1.MFC 1-MFC3:0-500sccm可调mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制3种气体;mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

3.进出气口:31出mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

4.连接方式:双卡套连接mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

注意事项mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

. 炉管内气压不可高于0.02MPamp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

· 石英管的长时间使用温度<1100℃mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)mp1管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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