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型号:KJ-T1200
简要描述:
分子泵PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜.
一、产品介绍SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
PECVD 是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统广泛应用于沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)等。SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
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SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
主要功能和特点SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
1、加热元件采用掺钼合金加热丝,炉膛保温材料采用多晶纤维材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,无杂球,纯度高,节能效果明显优于国内纤维材料。SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
2、整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1200℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
3、炉膛采用节能材料制作,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3,节能环保。SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
4、炉体配有:输出电压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了。SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
5、超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠具有多重防护功能。SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
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二、设备结构SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
滑道式PECVD系统由KJ-T1200管式炉加热系统、真空系统、质量流量计供气系统、等离子射频电源系统组成。SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
三、规格参数SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
产品名称SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
管式PECVD系统(CE认证)SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
管式炉部分(可滑动)SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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产品型号SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
KJ-T1200SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热区长度SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
450mm(可根据客户需求定制)SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管直径SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
直径60mm(可根据客户需求定制)SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作温度SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≦1100℃SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最高温度SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1200℃SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
测温元件SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
N型热电偶SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温控系统SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
PID微电脑可编程自动控制SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控温精度SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
±1℃SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温控保护SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
具有超温和断偶保护功能SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
升温速率SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0-20ºC/minSFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热元件SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
高电阻电热合金丝OCr27A17MoSFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
滑轨设计SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
能实现快速升降温SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉膛材料SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
采用多晶纤维炉膛材料,材料保温性能好、反射率高、温场均衡SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
密封系统SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉 管SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
高纯石英管SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
法 兰SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
不锈钢法兰,方便拆卸,放取材料SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉壳温度SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤45℃SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空系统部分SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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名称SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
高真空分子泵组SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
主要参数SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空泵极限真空度10-3 pa(包含KF25接口和可移动箱体) SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空计测量范围SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
其测量范围为1×105--1×10-5paSFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路系统部分SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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名称SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
四路质子流量计SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
四路SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流量控制SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
每路气体含有针阀单独控制SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流量计SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质子流量计SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流量范围SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
H2 0-200sccm Ar 0-200sccm SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 CH4 0-100sccm CH4 0-500sccm SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
输入SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0-5VSFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作压差范围SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0.1-0.5MPaSFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作环境温度SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
5℃-45℃SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
售后保障SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
12个月(易损件除外)SFV管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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