服务热线
181-3719-5607
型号:KJ-T1200
简要描述:
分子泵PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜.
一、产品介绍ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
PECVD 是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统广泛应用于沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)等。ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
主要功能和特点ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
1、加热元件采用掺钼合金加热丝,炉膛保温材料采用进口多晶纤维材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,无杂球,纯度高,节能效果明显优于国内纤维材料。ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
2、整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1200℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
3、炉膛采用节能材料制作,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3,节能环保。ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
4、炉体配有:输出电压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了。ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
5、超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠具有多重防护功能。ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
二、设备结构ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
滑道式PECVD系统由KJ-T1200管式炉加热系统、真空系统、质量流量计供气系统、等离子射频电源系统组成。ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
三、规格参数ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
产品名称ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
管式PECVD系统(CE认证)ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
管式炉部分(可滑动)ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
|
产品型号ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
KJ-T1200ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热区长度ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
450mmZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管直径ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
直径60mmZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作温度ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≦1100℃ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最高温度ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1200℃ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
测温元件ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
K型热电偶ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温控系统ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
PID微电脑可编程自动控制ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控温精度ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
±1℃ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温控保护ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
具有超温和断偶保护功能ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
升温速率ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0-20ºC/minZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热元件ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
高电阻电热合金丝OCr27A17MoZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作电压ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
AC 220V 单相 50HZ ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
滑轨设计ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
能实现快速升降温ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉膛材料ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
采用多晶纤维炉膛材料,材料保温性能好、反射率高、温场均衡ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
密封系统ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉 管ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
高纯石英管ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
法 兰ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
不锈钢法兰,方便拆卸,放取材料ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉壳温度ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤45℃ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空系统部分ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
|
名称ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
高真空分子泵组ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
主要参数ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空泵极限真空度10-3 pa(包含KF25接口和可移动箱体) ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空计测量范围ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
其测量范围为1×105--1×10-5paZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路系统部分ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
|
名称ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
四路质子流量计ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
四路ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流量控制ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
每路气体含有针阀单独控制ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流量计ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质子流量计ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流量范围ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
H2 0-200sccm Ar 0-200sccm ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 CH4 0-100sccm CH4 0-500sccm ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
输入ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0-5VZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作压差范围ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0.1-0.5MPaZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最大耐压ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
3MPaZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作环境温度ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
5℃-45℃ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
等离子射频器部分ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
|
名称ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
射频自动匹配器ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
型号ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
VERG-500+VENA-500 ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
匹配功率范围ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0-500WZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作频率ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
13.56MHZ+0.005%ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
正常工作反射功率ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
<3WZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
匹配时间ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
<3SZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
传输效率ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
>90%ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
匹配器电源ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
AC220V/50-60HZZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
输入连接器ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
N型ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
输出连接器ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
UHFZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控制模式ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
手动/自动ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
可设预置点数ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
7ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
匹配阻抗范围ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗)ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
匹配器尺寸ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
340X230X130 MMZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
提供相关配件ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路总成一套,真空泵一套、石英炉堵1对,高密封法兰1对,石英管1根,密封圈2对,高温手套1对,坩埚钩1把,真空泵连接管件1套,拆卸法兰六角扳手1把,保修卡说明书1份等ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
电气认证ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
欧盟CE认证 ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
售后保障ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
12个月(易损件除外)ZjM管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
上一篇:触屏PECVD
在线留言