立式PECVD系统-郑州科佳电炉

结构组成：
立式PECVD系统，由KJ-V1200真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、真空测量系统组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
产品介绍：
这款KJ-V1200-S60LD系统以含钼电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，真空泵接口，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。
技术参数：

产品名称	立式PECVD系统
产品型号	KJ-V1200-S60LD
立式管式炉
炉膛模式	立式开启式
炉膛材料	进口氧化铝耐火纤维
加热元件	进口含钼加热丝
极限温度	1200℃
工作温度	≤1100℃
升温速率	≤20℃(建议:15℃/min)
加热温区	单温区
温区总长度	440mm
炉管材质	高纯石英
炉管尺寸	60mm*1600mm
密封方式	304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)
控制模式	触屏 30段智能PID程序控温预留通讯接口
控温精度	±1℃
温度曲线	多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件	K型热电偶
供电电源	220V 50HZ 3KW
气路系统
工作电压	220V/50HZ
最大输出功率	18W
工作温度	5--45℃
最大气压	*3106Pa**
气体通道	可同时连接3种气源
流量计	质量流量计
A路量程	0～500SCCM
B路量程	0～500SCCM
C路量程	0～500SCCM
气路压力	-0.1～0.15 MPa
截止阀	不锈钢材质
气体连接管	1/4不锈钢管
混气罐规格	Φ80X120mm
等离子电源系统
射频频率	13.56 MHz ±0.005%
功率范围	0-500W ± 1%
反射功率	最大100W
射频接口	50 Ω, N-type
嗓声	≤55DB
冷却	风冷
输入功率	1KW AC220V/50HZ
数显真空计及连接件
防腐数显真空计	英福康防腐数显真空计安装在不锈钢法兰上
真空泵组(相关连接配件)
真空泵	2.2L/S抽速真空泵,及相应连接管件 220V/50HZ
汽化系统
电源	220v 50Hz 功率： 2200W
蠕动泵	精确度：+/- 0.5% FS 流量: 0 - 10 ml/min，可调，最小速率0.1ml/min 将吸液管放置在溶液容器中，蠕动泵可自动抽取液体
加热＆控温	流体和气体会在一个不锈钢罐中加热，此罐已经安装在壳体中，加热最高温度550ºC 不锈钢出气管处有二次加热带，防止蒸汽在输出过程中冷凝，二次加热带加热最高温度200ºC
气体流量控制	气体流速通过浮子流量计控制量程：0.2- 2L/min（可调）一压力表安装在壳体面板上，可以测出液气混合罐中的气体压强面板上安装有两个不锈钢针阀，以控制气体的进出出气口尺寸：1/4”OD的不锈钢口
认证	ISO认证、CE认证
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

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立式PECVD系统