服务热线
181-3719-5607
型号:KJ-V1200-S60LD
简要描述:
立式PECVD系统,由KJ-V1200真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、真空测量系统组成。
产品名称zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
立式PECVD系统zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
产品型号zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
KJ-V1200-S60LDzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
立式管式炉zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
|
炉膛模式zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
立式开启式zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉膛材料zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
进口氧化铝耐火纤维zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热元件zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
进口含钼加热丝zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
极限温度zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1200℃zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作温度zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤1100℃zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
升温速率zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤20℃(建议:15℃/min)zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热温区zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
单温区zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温区总长度zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
440mmzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管材质zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
高纯石英zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管尺寸zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
60mm*1600mmzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
密封方式zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控制模式zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
触屏 30段智能PID程序控温 预留通讯接口zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控温精度zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
±1℃zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温度曲线zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
多段"时间—温度曲线"任意可设zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
测温元件zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
K型热电偶zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
供电电源zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
220V 50HZ 3KWzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路系统zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
|
工作电压zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
220V/50HZzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最大输出功率zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
18WzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作温度zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
5--45℃zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最大气压zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
3*106PazQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气体通道zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
可同时连接3种气源zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流 量 计zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质量流量计zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
A路量程 zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0~500SCCMzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
B路量程 zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0~500SCCMzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
C路量程 zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0~500SCCMzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路压力zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
-0.1~0.15 MPazQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
截止阀zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
不锈钢材质zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气体连接管zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1/4不锈钢管zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
混气罐规格zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
Φ80X120mmzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
等离子电源系统zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
|
射频频率zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
13.56 MHz ±0.005%zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
功率范围zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0-500W ± 1%zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
反射功率zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最大100WzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
射频接口zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
50 Ω, N-typezQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
嗓声zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤55DBzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
冷却zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
风冷zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
输入功率zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1KW AC220V/50HZzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
数显真空计及连接件zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
|
防腐数显真空计 zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
英福康防腐数显真空计安装在不锈钢法兰上zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空泵组(相关连接配件)zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
|
真空泵zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
2.2L/S抽速真空泵,及相应连接管件 220V/50HZzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
汽化系统zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
电源zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
220v 50Hz 功率: 2200WzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 蠕动泵zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
精确度:+/- 0.5% FSzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 流量: 0 - 10 ml/min,可调,最小速率0.1ml/minzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 将吸液管放置在溶液容器中,蠕动泵可自动抽取液体zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热&控温zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流体和气体会在一个不锈钢罐中加热,此罐已经安装在壳体中,加热最高温度550ºCzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 不锈钢出气管处有二次加热带,防止蒸汽在输出过程中冷凝,二次加热带加热最高温度200ºCzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 气体流量控制zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气体流速通过浮子流量计控制zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 量程:0.2- 2L/min(可调)zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 一压力表安装在壳体面板上,可以测出液气混合罐中的气体压强zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 面板上安装有两个不锈钢针阀,以控制气体的进出zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 出气口尺寸:1/4”OD的不锈钢口zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
认证zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
ISO认证、CE认证zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
售后服务zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
上一篇:混气管式PECVD
下一篇:双炉体滑动式PECVD系统
在线留言