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立式PECVD系统
立式PECVD系统

立式PECVD系统

型号:KJ-V1200-S60LD

简要描述:

立式PECVD系统,由KJ-V1200真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、真空测量系统组成。

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详细介绍
结构组成:zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
立式PECVD系统,由KJ-V1200真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、真空测量系统组成。zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
主要特点:zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
     1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
     2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
     3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
     4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
     5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
产品介绍:zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
  这款KJ-V1200-S60LD系统以含钼电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,真空泵接口,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。  zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
技术参数:
zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

产品名称zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

立式PECVD系统zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

产品型号zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

KJ-V1200-S60LDzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

立式管式炉zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉膛模式zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

立式开启式zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉膛材料zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

进口氧化铝耐火纤维zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热元件zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

进口含钼加热丝zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

极限温度zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1200℃zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

工作温度zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤1100℃zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

升温速率zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

≤20℃(建议:15℃/min)zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热温区zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

温区zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

温区长度zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

440mmzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管材质zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

高纯石英zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

炉管尺寸zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

60mm*1600mmzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

密封方式zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)  zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

控制模式zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

触屏 30段智能PID程序控温  预留通讯接口zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

控温精度zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

±1℃zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

温度曲线zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

多段"时间—温度曲线"任意可设zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

测温元件zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

K型热电偶zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

供电电源zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

220V    50HZ   3KWzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

气路系统zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

工作电压zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

220V/50HZzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最大输出功率zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

18WzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

工作温度zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

5--45zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最大气压zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

3*106PazQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

气体通道zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

同时连接3种气源zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

流 量 计zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

流量计zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

A路量程  zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

0~500SCCMzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

B路量程 zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

0~500SCCMzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

C路量程  zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

0~500SCCMzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

气路压力zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

-0.1~0.15 MPazQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

截止阀zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

不锈钢材质zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

气体连接管zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1/4不锈钢管zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

混气罐规格zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

Φ80X120mmzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

等离子电源系统zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

射频频率zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

13.56 MHz    ±0.005%zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

功率范围zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

0-500W       ± 1%zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

反射功率zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

最大100WzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

射频接口zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

50 Ω, N-typezQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

嗓声zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 ≤55DBzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

冷却zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

风冷zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

输入功率zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

1KW   AC220V/50HZzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

数显真空计及连接件zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

防腐数显真空计  zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

英福康防腐数显真空计安装在不锈钢法兰上zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

      真空泵组(相关连接配件)zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

真空泵zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

2.2L/S抽速真空泵,及相应连接管件 220V/50HZzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

汽化系统zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 电源zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 220v 50Hz     功率: 2200WzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 蠕动泵zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 精确度:+/- 0.5% FSzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 流量: 0 - 10 ml/min,可调,最小速率0.1ml/minzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 将吸液管放置在溶液容器中,蠕动泵可自动抽取液体zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

加热&控温zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 流体和气体会在一个不锈钢罐中加热,此罐已经安装在壳体中,加热最高温度550ºCzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 不锈钢出气管有二次加热带,防止蒸汽在输出过程中冷凝,二次加热带加热最高温度200ºCzQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

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气体流量控制zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

气体流速通过浮子流量计控制zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

量程:0.2- 2L/min(可调)zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

一压力表安装在壳体面板上,可以测出液气混合罐中的气体压强zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

面板上安装有两个不锈钢针阀,以控制气体的进出zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

 出气口尺寸:1/4”OD的不锈钢口zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

认证zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

ISO认证、CE认证zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

售后服务zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司

zQy管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
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