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型号:KJ-V1200-S60LD
简要描述:
立式PECVD系统,由KJ-V1200真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、真空测量系统组成。
产品名称fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
立式PECVD系统fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
产品型号fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
KJ-V1200-S60LDfjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
立式管式炉fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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炉膛模式fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
立式开启式fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉膛材料fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
氧化铝耐火纤维fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热元件fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
含钼加热丝fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
极限温度fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1200℃fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作温度fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤1100℃fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
升温速率fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤20℃(建议:15℃/min)fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热温区fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
单温区(可根据客户需求定制)fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温区总长度fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
440mm(可根据客户需求定制)fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管材质fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
高纯石英fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管尺寸fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
60mm*1600mm(可根据客户需求定制)fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
密封方式fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控制模式fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
触屏 30段智能PID程序控温 预留通讯接口fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控温精度fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
±1℃fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温度曲线fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
多段"时间—温度曲线"任意可设fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
测温元件fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
N型热电偶fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路系统fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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工作温度fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
5--45℃fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气体通道fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
可同时连接3种气源fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流 量 计fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质量流量计fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
A路量程 fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0~500SCCMfjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
B路量程 fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0~500SCCMfjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
C路量程 fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0~500SCCMfjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路压力fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
-0.1~0.02 MPafjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
截止阀fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
不锈钢材质fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气体连接管fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1/4不锈钢管fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
冷却fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
风冷fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
数显真空计及连接件 |
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防腐数显真空计 fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
防腐数显真空计安装在不锈钢法兰上fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空泵组(相关连接配件)fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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真空泵fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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汽化系统fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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电源fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
220v 50Hz 功率: 2200WfjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 蠕动泵fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
精确度:+/- 0.5% FSfjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 流量: 0 - 10 ml/min,可调,最小速率0.1ml/minfjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 将吸液管放置在溶液容器中,蠕动泵可自动抽取液体fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热&控温fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流体和气体会在一个不锈钢罐中加热,此罐已经安装在壳体中,加热最高温度550ºCfjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 不锈钢出气管处有二次加热带,防止蒸汽在输出过程中冷凝,二次加热带加热最高温度200ºCfjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 气体流量控制fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气体流速通过浮子流量计控制fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 量程:0.2- 2L/min(可调)fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 一压力表安装在壳体面板上,可以测出液气混合罐中的气体压强fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 面板上安装有两个不锈钢针阀,以控制气体的进出fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 出气口尺寸:1/4”OD的不锈钢口fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
售后服务fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)fjR管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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