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型号:KJ-V1200-S60LD
简要描述:
立式PECVD系统,由KJ-V1200真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、真空测量系统组成。
产品名称2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
立式PECVD系统2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
产品型号2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
KJ-V1200-S60LD2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
立式管式炉2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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炉膛模式2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
立式开启式2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉膛材料2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
氧化铝耐火纤维2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热元件2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
含钼加热丝2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
极限温度2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1200℃2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作温度2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤1100℃2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
升温速率2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤20℃(建议:15℃/min)2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热温区2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
单温区(可根据客户需求定制)2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温区总长度2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
440mm(可根据客户需求定制)2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管材质2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
高纯石英2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管尺寸2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
60mm*1600mm(可根据客户需求定制)2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
密封方式2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控制模式2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
触屏 30段智能PID程序控温 预留通讯接口2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控温精度2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
±1℃2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温度曲线2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
多段"时间—温度曲线"任意可设2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
测温元件2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
N型热电偶2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路系统2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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工作温度2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
5--45℃2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气体通道2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
可同时连接3种气源2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流 量 计2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质量流量计2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
A路量程 2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0~500SCCM2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
B路量程 2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0~500SCCM2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
C路量程 2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0~500SCCM2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路压力2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
-0.1~0.02 MPa2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
截止阀2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
不锈钢材质2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气体连接管2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1/4不锈钢管2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
冷却2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
风冷2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
数显真空计及连接件 |
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防腐数显真空计 2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
防腐数显真空计安装在不锈钢法兰上2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空泵组(相关连接配件)2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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真空泵2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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汽化系统2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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电源2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
220v 50Hz 功率: 2200W2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 蠕动泵2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
精确度:+/- 0.5% FS2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 流量: 0 - 10 ml/min,可调,最小速率0.1ml/min2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 将吸液管放置在溶液容器中,蠕动泵可自动抽取液体2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热&控温2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流体和气体会在一个不锈钢罐中加热,此罐已经安装在壳体中,加热最高温度550ºC2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 不锈钢出气管处有二次加热带,防止蒸汽在输出过程中冷凝,二次加热带加热最高温度200ºC2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 气体流量控制2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气体流速通过浮子流量计控制2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 量程:0.2- 2L/min(可调)2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 一压力表安装在壳体面板上,可以测出液气混合罐中的气体压强2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 面板上安装有两个不锈钢针阀,以控制气体的进出2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 出气口尺寸:1/4”OD的不锈钢口2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
售后服务2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)2cY管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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