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ALD PECVD设备
ALD PECVD设备

ALD PECVD设备

型号:KJ-PECVD-LM

简要描述:

该pecvd设备是由管式炉真空泵和六通道质量流量计气体流动系统组成的。它可以混合1-6种气体用于PECVD或扩散。

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详细介绍
产品简介:7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
该pecvd设备是由管式炉真空泵和六通道质量流量计气体流动系统组成的。它可以混合1-6种气体用于PECVD或扩散。属于PECVD系列设备的一种。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
 7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
技术参数:
参数 KJ-PECVD-LM
第一部分:标准件
管式炉 Display 触摸屏7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
连续工作温度. ≤1100℃第一温区7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
≤1100℃第二温区7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
≤1600℃第三温区
升温速率 建议: 0~10℃/min
温区 220mm+220mm+220mm
加热元件 硅碳棒和硅钼棒
热电偶 K型和B型
温度控制精度 ±1℃
炉管尺寸 80x1600mm (OD x minimum L) Approx.
材料:氧化铝管
温度控制 通过SCR功率控制的PID自动控制
倾斜功能 0-15度7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
(不建议在1100C温度下使用倾斜功能,因为MoSi2加热元件可能容易损坏。高温时会变软,请注意。)
加热曲线 30步可编程
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
右侧法兰为滑动式。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
法兰应为水冷式。
电源 220V, 50 Hz, single phase at max. 8KW
等离子射频7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
 
功率范围 0-300W(连续可调)
控制模式 手动
工作频率 13.56MHz
报警保护 直流过载保护、直流/放大器过热保护、反射功率保护、匹配超时保护
射频输出阻抗接口(50Ω) N型,内螺纹
功率稳定性 ≤ 1 W
最大反射功率 200 W
谐波分量≤d Bc -50
电源电压 187V - 253V
总效率≥% 70
冷却方法 强制空气冷却
真空泵 7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
 
分子泵系统 极限真空:6.7*10-5 Pa。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
包括数字真空计   
质量流量计7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
(LCD触摸屏)
六个精密质量流量计:7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
MFC精度为:±1.5%F.S。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
MFC1 氩气:气体流量范围取决于客户的要求7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
MFC2 氮气:气体流量范围取决于客户的要求7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
MFC3 氧气:气体流量范围取决于客户的要求7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
MFC4 二氢化二碳:气体流量范围取决于客户的要求7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
MFC5 甲烷:气体流量范围取决于客户的要求7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
MFC6 氢气:气体流量范围取决于客户的要求7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
(以上流量范围仅供参考,请在订购前确认气体流量范围。)7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
底壳上安装了一个气体混合罐,底壳左侧安装了6个不锈钢针阀,用于手动控制6种类型的气体混合。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
MFC的液晶触摸屏(由科佳设计,带有科佳标志)如下:7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
 7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
ALD阀门(此阀门不是由我们提供的)
两个带脉冲控制器的ALD阀(持续时间至少为10ms)7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
并连接到触摸屏7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
 7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
 7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
 7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
17MHZ超声波雾化7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
 
配备1.7MHz超声波雾化器,液体可雾化成液体颗粒并引入管式炉。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
20VAC,1.7MHz超声波雾化器7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
•液体罐标配316不锈钢,并用氟橡胶密封件密封;7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
•雾化量可设置为1至8,雾化量可通过调整齿轮的大小来控制;7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
•可实现连续运行雾化和常规运行雾化两种功能。正时可以从30分钟调整到180分钟(每30分钟调整一次档位)。
液体注入系统 •一套用于自动液体供给的标准液体注入泵7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
•注射泵配有最大容量为60ml的塑料注射器,用于容纳液体;7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
•注射泵速度调节范围:7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
0.004ml/min-70ml/min
水冷却器 用于冷却水冷法兰和真空泵。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司
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