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型号:KJ-PECVD-LM
简要描述:
该pecvd设备是由管式炉真空泵和六通道质量流量计气体流动系统组成的。它可以混合1-6种气体用于PECVD或扩散。
参数 | KJ-PECVD-LM | |
第一部分:标准件 | ||
管式炉 | Display | 触摸屏7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
连续工作温度. | ≤1100℃第一温区7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 ≤1100℃第二温区7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 ≤1600℃第三温区 |
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升温速率 | 建议: 0~10℃/min | |
温区 | 220mm+220mm+220mm | |
加热元件 | 硅碳棒和硅钼棒 | |
热电偶 | K型和B型 | |
温度控制精度 | ±1℃ | |
炉管尺寸 | 80x1600mm (OD x minimum L) Approx. | |
材料:氧化铝管 | ||
温度控制 | 通过SCR功率控制的PID自动控制 | |
倾斜功能 | 0-15度7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 (不建议在1100C温度下使用倾斜功能,因为MoSi2加热元件可能容易损坏。高温时会变软,请注意。) |
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加热曲线 | 30步可编程 | |
真空法兰 | 带阀门的不锈钢真空法兰7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 右侧法兰为滑动式。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 法兰应为水冷式。 |
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电源 | 220V, 50 Hz, single phase at max. 8KW | |
等离子射频7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
功率范围 | 0-300W(连续可调) |
控制模式 | 手动 | |
工作频率 | 13.56MHz | |
报警保护 | 直流过载保护、直流/放大器过热保护、反射功率保护、匹配超时保护 | |
射频输出阻抗接口(50Ω) | N型,内螺纹 | |
功率稳定性 | ≤ 1 W | |
最大反射功率 | 200 W | |
谐波分量≤d Bc | -50 | |
电源电压 | 187V - 253V | |
总效率≥% | 70 | |
冷却方法 | 强制空气冷却 | |
真空泵 7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
分子泵系统 | 极限真空:6.7*10-5 Pa。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 包括数字真空计 |
质量流量计7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 (LCD触摸屏) |
六个精密质量流量计:7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC精度为:±1.5%F.S。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC1 氩气:气体流量范围取决于客户的要求7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC2 氮气:气体流量范围取决于客户的要求7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC3 氧气:气体流量范围取决于客户的要求7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC4 二氢化二碳:气体流量范围取决于客户的要求7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC5 甲烷:气体流量范围取决于客户的要求7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC6 氢气:气体流量范围取决于客户的要求7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 (以上流量范围仅供参考,请在订购前确认气体流量范围。)7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 底壳上安装了一个气体混合罐,底壳左侧安装了6个不锈钢针阀,用于手动控制6种类型的气体混合。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 MFC的液晶触摸屏(由科佳设计,带有科佳标志)如下:7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 ALD阀门(此阀门不是由我们提供的) |
两个带脉冲控制器的ALD阀(持续时间至少为10ms)7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 并连接到触摸屏7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 17MHZ超声波雾化7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
配备1.7MHz超声波雾化器,液体可雾化成液体颗粒并引入管式炉。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 20VAC,1.7MHz超声波雾化器7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 •液体罐标配316不锈钢,并用氟橡胶密封件密封;7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 •雾化量可设置为1至8,雾化量可通过调整齿轮的大小来控制;7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 •可实现连续运行雾化和常规运行雾化两种功能。正时可以从30分钟调整到180分钟(每30分钟调整一次档位)。 |
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液体注入系统 | •一套用于自动液体供给的标准液体注入泵7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 •注射泵配有最大容量为60ml的塑料注射器,用于容纳液体;7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 •注射泵速度调节范围:7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 0.004ml/min-70ml/min |
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水冷却器 | 用于冷却水冷法兰和真空泵。7Jd管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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