管式PECVD系统-郑州科佳电炉

产品介绍：
管式PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统广泛应用于沉积SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管（CNT）、石墨烯材料等。属于PECVD的一种。
产品功能和特点
1、加热元件采用掺钼合金加热丝，炉膛保温保温材料采用氧化铝陶瓷纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显。
2、整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1200℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
3、炉膛采用节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
4、炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了。
5、超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠具有多重防护功能。
规格参数

产品名称	管式PECVD系统
滑道管式炉部分
产品型号	KJ-T1200
加热区长度	300mm
炉管尺寸	直径120*1600mm
工作温度	≦1100℃
最高温度	1200℃
测温元件	K型热电偶
温控系统	30段PID微电脑可编程自动控制
保温温控精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
升温速率	0-20ºC/min
加热元件	高电阻电热合金丝OCr27A17Mo
工作电压	AC220V 单相50HZ
额定功率	4KW
炉膛材料	采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好
炉管	高纯石英管
法兰	304不锈钢密封法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀，方便拆卸，放取材料
炉体结构	镀Cr厚钢板双向滑轨，可实现管式炉移动，达到快速升温和降温
炉壳温度	≤45℃
真空系统部分
名称	DRV16旋片泵4L/S
主要参数	极限真空度10Pa（包含KF25接口、真空挡板阀和可移动箱体）
真空显示	电阻数显真空计，显示范围标准大气压--10-1pa
气路系统部分
名称	四路质量流量计
气路	四路
流量控制	数字显示，每路气体含有针阀单独控制，气体流量自动控制
进出气口	四进一出，内置精密混气罐
链接方式	双卡套接头
流量范围	MFC1-MFC4：0-500sccm（量程可选）
控制精度	±1.5%F.S左右，量程不同，略有差别
工作环境温度	5℃-45℃
等离子射频器部分
名称	射频自动匹配器
匹配功率范围	0-500W
工作频率	13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率	＜3W
匹配时间	＜3S
传输效率	＞90%
匹配器电源	AC220V/50-60HZ

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管式PECVD系统